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BDD-M100C/M 本体数显式控制器/计

数显式中量程热式气体质量流量控制器/流量计BDD-M100C/M主要应用在量程范围从30SLM--100SLM之间气体流量的测量和控制,产品最大耐压能达5Mpa,采用新型传感制作工艺,具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、耐压高、线性度好等优点,适用于绝大多数干燥、干净的气体(及少数腐蚀性气体)
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  • 产品详情

数显式中量程热式气体质量流量控制器/流量计BDD-M100C/M主要应用在量程范围从30SLM--100SLM之间气体流量的测量和控制,产品最大耐压能达5Mpa,采用新型传感制作工艺,具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、耐压高、线性度好等优点,适用于绝大多数干燥、干净的气体(及少数腐蚀性气体)。

性能特点:

1、本体数显操作方便    2、耐压5Mpa

3、抗干扰性强          4、宽压力范围

5、流量控制精准        6、数据传输距离远

技术参数:

气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量单位:SCCM(标准毫升每分钟)   SLM(标准升每分钟)

标准状况:温度--293.15K(20℃)   压力--101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale)表示满量程

型号

BDD-M100C

BDD-M100M

流量规格

30SLM---100SLM

控制量程(N2)

2—100%

2—100%

精度

≤±1%F.S

线性

≤±0.5%F.S

重复性

≤±0.2%F.S

阀门类型

常闭阀

响应时间

1—2S

最大耐压

50Bar

通讯信号

模拟通讯  0—5V或4—20mA

数字通讯 RS485

供电方式

14VDC27VDC(300mA)

泄露率

1X10-9atm.cc/sec.He

数显式中量程热式气体质量流量控制器/流量计BDD-M100C/M应用行业:真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备